中微公司取得发明专利授权：“等离子体处理设备及其处理办法”

时间: 2025-08-01 22:55:32 |   作者: 移动式蒸汽清洗机

  证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“等离子体处理设备及其处理办法”，专利申请号为CN3.1，授权日为2025年5月9日。

  专利摘要：本发明揭露了一种等离子体处理设备，包含：反响腔；基台，其设置在所述反响腔中，所述基台中具有榜首气体通道；多个榜首气体供给源，所述多个榜首气体供给源与榜首气体通道衔接，多个榜首气体供给源中的任一个榜首气体供给源与所述榜首气体通道之间具有阀门；第二气体供给设备，其设置在所述反响腔中且与所述基台相对设置。本发明还揭露了一种无晶圆清洗办法。

  今年以来中微公司新取得专利授权66个，较去年同期增加了13.79%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研制方面投入了14.18亿元，同比增73.59%。

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  证券之星估值剖析提示中微公司行业界竞争力的护城河优异，盈余才能平平，营收成长性一般，归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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