中微公司发布晶圆边际刻蚀设备Primo Halona
时间: 2025-06-26 07:27:14 | 作者: 移动式蒸汽清洗机
公民财讯3月27日电,在SEMICON China 2025展会期间,中微公司自主研制的12英寸晶圆边际刻蚀设备Primo Halona™正式对外发布。中微公司表明,此款刻蚀设备的面世,完成了在等离子体刻蚀技术领域的又一次打破立异,标志着公司向要害工艺全方面掩盖的方针再进一步,也为公司的高水平质量的开展注入微弱动能。
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